无尘车间的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，常德无尘室，可提供局部超洁净之空气。
⑴洁净隧道（CleanTunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分之百覆盖使洁净度等级提高至十级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，千级无尘室，ULSI制程大都采用此种型式。
无尘车间的洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道（CleanTube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至百级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为Zui适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部无尘室（CleanSpot）：将无尘室等级万级~十万级之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为十~千级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台：等级Class 一~百级。
洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较g级之洁净空间，其等级为十~千级，高度在二点五米左右，覆盖面积约十平方以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
无尘车间净化工程技术发展历史：
1950年，百级无尘室，美国制成了高1效能空气粒子过滤器，取得了空气净化技术的首1次飞跃，是洁净技术发展史中的第1座里程碑，实现了以0.5m粒径的尘粒数为计数标准来衡量空气洁净度。
1961年，美国圣地亚公司在总结了年代的常规方式洁净室的气流组织存在的一些问题后，万级无尘室，研制出美国的第1个单向流洁净室无尘车间(当时称为层流洁净室)，这是空气洁净技术的重大突破，这一成果成为空气洁净技术发展史1上的第﹨二个里程碑。
为加速美国宇航工业的发展，美国相应加速了制订有关污染控制标准的工作，1962年美国颁布了无尘车间洁净室第1个军1用部分的联邦标准(美国国家标准)，从此联邦标准即成为国际上通行、著1名的洁净室标准。这种状态一直延续到化组织成立有关洁净室的技术委1员会，规范了洁净室（无尘车间）与相关受控环境，1999年该委1员会出台第1个关于洁净室（无尘车间）的标准(空气洁净度分极)。
无尘车间净化工程的工艺：
发达国家，无尘车间净化工程广泛应用于医院、实验室、工厂、学校、变电室、计算机机房。某些对环境有较高要求的住宅也有应用。在中国，由于现代化步伐加快，国内三甲医院手术室普遍安装净化设备。千级净化手术室，对于脑部外科手术十分必要。以前不敢做或不能做的手术，由于有了较高的净化环境，现在国内许多医院都可以做了。在电子工厂，由于有了较高的净化环境，可以在很小的体积上，集成几千万个电子元器件。我们常用的手机等电子产品，就必须有良好的净化环境才能生产。才会愈做愈精、功能愈做愈大。在净化环境下，我们的计算机房，不会因为灰尘产生故障。在无尘车间实验室，我们的实验不会受到灰尘的干扰。在工厂，我们可以生产出保质期很长的放心食品。净化环境的广泛应用，造福社会、造福人类。
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